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半岛电子国林科技:典范的臭氧利用包括:化学气相堆积(CVD)、净化物及光刻胶去除、外表处置和氧化物发展等工艺制程中

  同花顺300033)金融研讨中间9月14日讯,有投资者向国林科技300786)发问, Hadeslo董秘大大可否领会下臭氧是不是用于光刻机清算呢?今朝贵司臭氧清算半导体装备出货若何,感谢

  公司回覆透露表现,尊重的投资者,您好。臭氧拥有很高的氧化恢复电位,拥有强氧化特征、高活性的特性,最近几年来臭氧被以为是一种低本钱的“绿色”化学品,是大多半利用的杰出抉择,已被普遍利用于电子产业中。典范的臭氧利用包罗:化学气相堆积(CVD)、原子层薄膜堆积(ALD)、晶圆洗濯、净化物及光刻胶去除、外表处置和氧化物发展等工艺制程中。子公司国林半导体产物从2022年下半年开端停止商场导入,2023年今后接续在半导体、面板、科研等行业范畴出货考证,将来公司的事情要点将环绕产物商场推行及产物迭代睁开,具体功绩环境请存眷公司按期陈述。感激您的存眷。

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